Dimension Prüfkammer
Modell
Prüfverfahren
Messbare Leakrate
Prüfdruck
Messsystem
Lonenquelle
Pumpsystem
ø1000mm x 1600mm
Massenspektrometrie mit Prüfgas / Schnüffeln mittels Schnüffelsonde
Bis 1x10-8 mbar*l/s
Mechanischer Stresstest mit Inertgas bis 20 bar (Luft) / 6.8 bar (Helium)
Massenspektrometrie mit magnetischer Ablenkung von 180° und elektrischer Fokussierung
2 Kathoden, widerstandsfähig gegen unvorgesehene Druckschwankungen
Vorvakuum: Zweistufen-Schaufelpumpe / Hochvakuum: Turbomolekularpumpe
Massenspektrometrie mit Prüfgas / Schnüffeln mittels Schnüffelsonde
Bis 1x10-8 mbar*l/s
Mechanischer Stresstest mit Inertgas bis 20 bar (Luft) / 6.8 bar (Helium)
Massenspektrometrie mit magnetischer Ablenkung von 180° und elektrischer Fokussierung
2 Kathoden, widerstandsfähig gegen unvorgesehene Druckschwankungen
Vorvakuum: Zweistufen-Schaufelpumpe / Hochvakuum: Turbomolekularpumpe
Lazzero LT0801
ø1700 x 2600mm
Massenspektrometrie mit Prüfgas / Schnüffeln mittels Schnüffelsonde
Bis 1x10-7 mbar*l/s
Mechanischer Stresstest mit Inertgas bis 25 bar (Luft) / 7.5 bar (Helium)
Massenspektrometrie mit magnetischer Ablenkung von 180° und elektrischer Fokussierung
2 Kathoden, widerstandsfähig gegen unvorgesehene Druckschwankungen
Vorvakuum: Zweistufen-Schaufelpumpe / Hochvakuum: Turbomolekularpumpe
Massenspektrometrie mit Prüfgas / Schnüffeln mittels Schnüffelsonde
Bis 1x10-7 mbar*l/s
Mechanischer Stresstest mit Inertgas bis 25 bar (Luft) / 7.5 bar (Helium)
Massenspektrometrie mit magnetischer Ablenkung von 180° und elektrischer Fokussierung
2 Kathoden, widerstandsfähig gegen unvorgesehene Druckschwankungen
Vorvakuum: Zweistufen-Schaufelpumpe / Hochvakuum: Turbomolekularpumpe
Lazzero LT0908